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多維測量精密微調平臺。先建立了精密微調平臺的數學分析模型,在此基礎上,通過優化設計得到了平臺的優尺寸。利用有限元軟件驗證了理論建模和優化結果的正確性。制造了原型樣機,進行了實驗研究,對平臺進行了標定,并分析了精密微調平臺的定位誤差。
精密微調平臺操作系統在生物工程、集成電路制造、微細加工、顯微手術和光纖對接等領域具有廣泛的應用前景 ,精密微調平臺已成為前沿科學、工程技術領域的關鍵技術之一。現有的精密微調平臺技術中,常選用滑動導軌或滾動導軌構成的微位移定位機構,由于存在著較大的間隙和機械摩擦,精密微調平臺定位精度很難達到很高要求。基于精密微調平臺的微位移機構有免裝配、無機械摩擦、無間隙、運動靈敏度高和加工簡單等優點,近年來精密微調平臺得到了廣泛的應用。
在一些精密微調平臺中,經常需要將物體偏轉一個角度,以達到各種需求,如在大規模集成電路的制造中對晶片的定位不僅需要在X和Y兩個方向調整,還需要調整繞Z軸的轉角誤差,甚至更多維的使用。
此多維精密微調平臺是先對精密微調平臺進行數學建模,得出其剛度、固有頻率和強度的計算表達式。在此基礎上,通過優化設計得到了精密微調平臺的優尺寸。利用有限元軟件驗證了理論建模和優化結果的正確性。制造了原型樣機,進行了實驗研究,對精密微調平臺進行了標定,并分析了精密微調平臺的定位誤差。
按照客戶需求定制:
單軸(x y z軸的直線平臺、旋轉平臺、弧線移動平臺)的平臺可組合成二維、三維、四維、五維、六維的多維平臺,滿足不同方向和不同角度的調整特色:精度高、重復性好、性能可靠穩定、配套功能齊全。
產品可按圖設計,
負重8kg,15kg,30kg,40kg.........
YYKJ-DW--8kg
YYKJ-DW--15kg
YYKJ-DW--30kg
YYKJ-DW--40kg
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